引言

空氣潔凈技術(shù)（又稱(chēng)潔凈技術(shù)或潔凈室技術(shù)）最初是指以控制室內(nèi)空氣中懸浮顆粒物濃度為目標(biāo)的相關(guān)技術(shù)，并以此來(lái)劃分潔凈度等級(jí)或級(jí)別。隨著現(xiàn)代技術(shù)（航天技術(shù)、原子能技術(shù)、醫(yī)療、制藥、生物，實(shí)驗(yàn)室，電子技術(shù)等）的迅速發(fā)展，特別是微電子工業(yè)的發(fā)展，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的潔凈技術(shù)已被廣泛應(yīng)用，控制的對(duì)象也從單一的懸浮顆粒物擴(kuò)展到有害氣體，形成了當(dāng)前比較完善的潔凈技術(shù)體系�，F(xiàn)代工業(yè)潔凈室應(yīng)用的代表是微電子行業(yè)，主要產(chǎn)品為大規(guī)模集成電路和平板顯示器。半個(gè)多世紀(jì)以來(lái)，集成電路得到迅猛發(fā)展。微電子產(chǎn)品的迅速發(fā)展對(duì)傳統(tǒng)的潔凈技術(shù)提出了極大的挑戰(zhàn)，同時(shí)也促進(jìn)了現(xiàn)代潔凈技術(shù)的發(fā)展。

1 電子潔凈廠房的概念綜述

電子潔凈廠房的組成、定義及分類(lèi)

電子潔凈廠房一般包括四個(gè)部分：潔凈生產(chǎn)用房（通常兼有一般生產(chǎn)用房），空調(diào)冷凍機(jī)房，純水和氣體凈化站，人員、物料凈化用房。我國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB50072‐2001《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》將潔凈室定義為“空氣懸浮粒子濃度受控的房間”。并要求“它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)的其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制”。這一定義與最新的ISO14644國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的定義是一致的。包括了潔凈室以空氣中懸浮粒子濃度為主要控制對(duì)象，空氣潔凈技術(shù)所依據(jù)的基本原理，不同的應(yīng)用要求及控制級(jí)別對(duì)其它有關(guān)參數(shù)的控制要求。

潔凈室按不同分類(lèi)方式有很多種。按潔凈室用途分，可分為工業(yè)潔凈室和生物潔凈室；按氣流組織形式分，可分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室（又稱(chēng)亂流潔凈室）、混合流潔凈室、矢流（對(duì)角流）潔凈室；按潔凈室建造方式分，可分為土建式潔凈室和裝配式潔凈室；按空氣潔凈設(shè)備的布置方式分，可分為全室型潔凈室、局部型潔凈室和結(jié)合型潔凈室。

1.2電子潔凈廠房的特點(diǎn)

電子潔凈廠房在工藝、維護(hù)結(jié)構(gòu)和空調(diào)系統(tǒng)氣流組織上都有其獨(dú)有的特點(diǎn)： 1.電子潔凈廠房有其特定的工藝生產(chǎn)特點(diǎn)：

分類(lèi)眾多，有集成電路生產(chǎn)，平面顯示器生產(chǎn)，硅材料生產(chǎn)，光纖生產(chǎn)，制卡業(yè)，表面貼裝，分離器件生產(chǎn)，整機(jī)組裝生產(chǎn)，自控元器件生產(chǎn)等等。冷負(fù)荷比其他行業(yè)的潔凈室大很多。單位冷負(fù)荷達(dá)400w/m2～500 w/m2很常見(jiàn)。由于冷負(fù)荷大，一般情況下，冬季也需要供冷成為電子行業(yè)特點(diǎn)。

2.維護(hù)結(jié)構(gòu)要求嚴(yán)密性非常高，并且要求結(jié)構(gòu)盡量不產(chǎn)生塵、不積塵。目前，潔凈廠房的圍護(hù)結(jié)構(gòu)均為夾心彩鋼板，夾心層為巖棉、鋁蜂窩、紙蜂窩、聚苯、聚氨酯等，根據(jù)廠房性質(zhì)

和業(yè)主要求進(jìn)行選擇。采用上述結(jié)構(gòu)后，潔凈室的絕熱性將大大加強(qiáng)，外界的熱量很難通過(guò)圍護(hù)結(jié)構(gòu)進(jìn)入室內(nèi)，同時(shí)室內(nèi)的熱量也很難通過(guò)維護(hù)結(jié)構(gòu)傳出；

3．循環(huán)風(fēng)量大，氣流分布要求均勻。潔凈室的潔凈度是由經(jīng)過(guò)三級(jí)過(guò)濾（初、中、高）的潔凈空氣來(lái)稀釋室內(nèi)被污染的空氣或利用活塞效應(yīng)用潔凈空氣把被污染的空氣擠壓出潔凈室的方法而達(dá)到不同潔凈度的，因此潔凈空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)量和氣流組織形式是保證達(dá)到潔凈度的關(guān)健，1．非單向流潔凈室一般適用于6、7、8、9級(jí)（也就是原美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)），潔凈度要求不高的潔凈室是用稀釋的方式來(lái)達(dá)到一定的潔凈度，所需的風(fēng)量相應(yīng)較小，送風(fēng)量的取值一般以每小時(shí)換氣次數(shù)來(lái)決定。2.單向流的潔凈室的風(fēng)量是以潔凈室斷面氣流流速來(lái)確定。無(wú)論何種情況的風(fēng)量計(jì)算其主要作用在于限制和減少灰塵對(duì)工件或工作區(qū)域的污染；

4.溫濕度要求精度高并且恒定。由于電子產(chǎn)品的制造工藝對(duì)溫、濕度的變化極為敏感，所以空氣參數(shù)的波動(dòng)要控制在極小的范圍內(nèi)，因此，自控系統(tǒng)如DDC、PLC等在潔凈系統(tǒng)控制中有著不可忽視的作用；

5．潔凈室內(nèi)換氣次數(shù)高。新風(fēng)補(bǔ)給量大。因電子廠房工藝設(shè)備有著多種性質(zhì)的工藝排風(fēng)，如熱、酸、堿、有機(jī)氣體等因排風(fēng)量大，這樣就需要很大的新風(fēng)來(lái)補(bǔ)給和維持室內(nèi)的正壓，從而保證室內(nèi)空氣不被外界污染。為了維持高潔凈度就需要較多的換氣次數(shù)來(lái)過(guò)濾塵埃粒子。另外，因電子行業(yè)潔凈室內(nèi)部產(chǎn)熱量極大而產(chǎn)濕量極小的情況，故需要大量的新風(fēng)帶走熱量。

2 電子潔凈廠房中常見(jiàn)的空調(diào)系統(tǒng)形式

電子潔凈廠房的空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，具有和一般潔凈室相同的特點(diǎn)：除塵、防塵、溫濕度控制、正壓要求、有害氣體排放、結(jié)構(gòu)物與隔間的氣密性、靜電防治、電磁干擾預(yù)防、安全因素、節(jié)能等。眾所周知的形式就是通過(guò)空調(diào)箱來(lái)實(shí)現(xiàn)。那么，對(duì)于電子潔凈廠房的高要求以及其特點(diǎn)，其空調(diào)形式又將作如何的變化呢？在這里，我們先簡(jiǎn)單的介紹，在潔凈室一般都會(huì)使用的傳統(tǒng)凈化空調(diào)方式

2.1新風(fēng)機(jī)組+空調(diào)機(jī)組（AHU）+高效過(guò)濾器（HEPA）的空調(diào)形式

該空調(diào)方式指的是室外新風(fēng)經(jīng)過(guò)新風(fēng)機(jī)組處理后送入混風(fēng)機(jī)組，混風(fēng)機(jī)組把回風(fēng)與新風(fēng)混合并處理至所要求的空氣參數(shù)后直接用風(fēng)管送風(fēng)到各終端高效過(guò)濾器（HEPA）,通常新風(fēng)機(jī)組將新風(fēng)處理到室內(nèi)焓值，不承擔(dān)室內(nèi)負(fù)荷，只承擔(dān)新風(fēng)負(fù)荷，由混風(fēng)機(jī)組承擔(dān)室內(nèi)的濕負(fù)荷和顯熱負(fù)荷，空調(diào)方式示意圖見(jiàn)圖1。

 

2.2空調(diào)機(jī)組（AHU）加風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元（FFU）的空氣處理形式

此方案中的空調(diào)機(jī)組承擔(dān)了所有熱（冷）濕負(fù)荷的處理，包括室內(nèi)負(fù)荷和新風(fēng)負(fù)荷的處理，還要進(jìn)行初、中效過(guò)濾，空調(diào)機(jī)組的風(fēng)量就是消除室內(nèi)熱濕負(fù)荷所需的風(fēng)量，F(xiàn)FU的風(fēng)量就是滿足潔凈度所需的風(fēng)量，計(jì)算負(fù)荷時(shí)不要漏了FFU風(fēng)機(jī)的溫升形成的負(fù)荷，這部分負(fù)荷的量也是比較大的，這種空氣處理方案是將處理熱濕負(fù)荷所需的風(fēng)量和潔凈所需的風(fēng)量分開(kāi)，這時(shí)循環(huán)空調(diào)箱（AHU）所需的風(fēng)量就大大的降低了，不僅節(jié)省了運(yùn)行能耗而且還大大的減少了空調(diào)機(jī)房的面積，減少了龐大的送、回風(fēng)管的材料和占據(jù)的建筑空間，使?jié)崈魪S房的總高度可以降低，節(jié)約了初投資。圖2是其它空氣處理過(guò)程。

 

2.3新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管（Dry Coil）+FFU的空調(diào)形式

新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU空調(diào)方式指的是室外新風(fēng)經(jīng)過(guò)新風(fēng)機(jī)組處理后送入潔凈室的天花技術(shù)夾層內(nèi)，干盤(pán)管負(fù)責(zé)處理空氣至所要求的參數(shù),然后用FFU來(lái)循環(huán)空氣從而達(dá)到潔凈度要求的換氣量,通常新風(fēng)機(jī)組將新風(fēng)處理到室內(nèi)露點(diǎn)溫度，承擔(dān)新風(fēng)負(fù)荷及室內(nèi)濕負(fù)荷，干盤(pán)管承擔(dān)室內(nèi)的顯熱負(fù)荷,FFU負(fù)責(zé)循環(huán)及過(guò)濾空氣。即濕度由新風(fēng)機(jī)組負(fù)責(zé),溫度由干盤(pán)管負(fù)責(zé),潔凈度由FFU負(fù)責(zé)，空調(diào)方式示意圖見(jiàn)圖3。

 

圖3新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管（DC）+FFU的空調(diào)形式示意圖

筆者將要重點(diǎn)介紹的干盤(pán)管（DC），就是該系統(tǒng)的重要組成部分。

3 干盤(pán)管在電子潔凈廠房中的實(shí)際應(yīng)用

干盤(pán)管，是一種新型設(shè)備還是一種設(shè)計(jì)，至今業(yè)內(nèi)雖然還存在著爭(zhēng)論，但筆者，更加傾向于其是一種設(shè)計(jì)的說(shuō)法。原因是，干盤(pán)管和一般我們常見(jiàn)的FCU內(nèi)的盤(pán)管相比，就其材質(zhì)而言，是一樣的；就其工作原理而言，亦與普通的FCU內(nèi)的盤(pán)管一樣。只不過(guò)在有些特定的條件下，有可能需要調(diào)整盤(pán)管的換熱面積和風(fēng)機(jī)風(fēng)量，讓與一般傳統(tǒng)的FCU內(nèi)的盤(pán)管有所不同而已，即我們常說(shuō)的非標(biāo)產(chǎn)品。

干盤(pán)管，這個(gè)設(shè)計(jì)概念，最先是由臺(tái)灣人和日本人想出來(lái)的。所謂“干盤(pán)管”，是因?yàn)樵谶@種系統(tǒng)中，冷凍盤(pán)管僅承擔(dān)顯熱負(fù)荷，其冷凍水進(jìn)水溫度一般在13℃以上，也就是說(shuō)在室內(nèi)空氣的露點(diǎn)溫度以上，盤(pán)管一般不可能產(chǎn)生冷凝水，屬于干工況運(yùn)行，所以叫其干盤(pán)管。

下面，筆者就先從其設(shè)計(jì)選型說(shuō)起。

3.1 干盤(pán)管的設(shè)計(jì)選型

先前筆者已經(jīng)提到了，干盤(pán)管與傳統(tǒng)的FCU內(nèi)部的盤(pán)管無(wú)異，所以其選型的技術(shù)參數(shù)也是與傳統(tǒng)的FCU極為相似，即冷卻能力，額定風(fēng)量，水量，水壓損失，重量等。 額定風(fēng)管的確定：由其潔凈室的送風(fēng)量減去新風(fēng)量計(jì)算而得。根據(jù)“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”，不同潔凈等級(jí)的潔凈室，其空氣換氣次數(shù)也是不同的。例如，10萬(wàn)級(jí)的潔凈室，其空氣換氣次數(shù)一般選擇10－15次/小時(shí)。 潔凈室的送風(fēng)量應(yīng)取下列三項(xiàng)中的最大值； 1.為保證空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量； 2.根據(jù)熱濕負(fù)荷計(jì)算確定的送風(fēng)量； 3.向潔凈室供給的新鮮空氣量。

潔凈室的新風(fēng)量應(yīng)取以下兩項(xiàng)的最大值：

1.補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和； 2.保證供給潔凈室內(nèi)每個(gè)人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m³/h。

對(duì)于電子廠房潔凈室來(lái)說(shuō)，室內(nèi)的工作人員較少，滿足人員衛(wèi)生要求所需新風(fēng)量要求遠(yuǎn)小于維持室內(nèi)正壓所需新風(fēng)量，一般可以根據(jù)維持正壓和補(bǔ)充排風(fēng)的要求確定最大的新風(fēng)風(fēng)量。另外，值得一提的是，新風(fēng)還必須承擔(dān)室內(nèi)全部濕負(fù)荷，保證干盤(pán)管正常運(yùn)行。因此系統(tǒng)的新風(fēng)量還必須滿足：

GX＝W/((dN‐dx)•ρ) （1）

式中：dN和dx分別為新風(fēng)送風(fēng)和室內(nèi)空氣的含濕量（kg/kg）；

W為房間的散濕量(kg/h)；

ρ為空氣密度（kg/m³）。

但是，原因筆者在先前在電子潔凈廠房的特點(diǎn)4中，已提到了，其產(chǎn)濕量極小。原因即是，電子潔凈廠房?jī)?nèi)的人員很少，而且人員必須經(jīng)過(guò)凈化用房換鞋更衣，再經(jīng)空氣淋浴等，方能進(jìn)入潔凈生產(chǎn)用房。其工作人員的工作服裝，亦有很好的氣密性，可使其人員對(duì)外的散濕量降到最低。所以，一般情況下，此數(shù)值也遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于維持正壓和補(bǔ)充排風(fēng)的要求確定最大的新風(fēng)風(fēng)量。

冷卻能力的確定：

上面筆者已經(jīng)提到了，其冷凍盤(pán)管僅承擔(dān)室內(nèi)的顯熱負(fù)荷，可由下式確定： Qgf=QNx‐QXJx= QNx‐GXcpρ(tx‐tN)/3600 （2）

式中：QNx和QXJx分別為室內(nèi)和新風(fēng)所承擔(dān)的顯熱負(fù)荷（kW）；

GX為系統(tǒng)新風(fēng)量（m³/h）；

cp為新風(fēng)的定壓比熱容（kJ/（kg•℃））；

ρ為空氣密度（kg/m³）； tx為新風(fēng)送風(fēng)溫度（℃）；

tN為室內(nèi)設(shè)計(jì)溫度（℃）。

其中，新風(fēng)的送風(fēng)溫度，一般我們可以按照，新風(fēng)空調(diào)箱可以處理到的露點(diǎn)溫度來(lái)計(jì)算。 在這里，值得一提的是，有時(shí)我們經(jīng)常會(huì)遇到QXJx的數(shù)值，比QNx大的情況。一般會(huì)由于工藝情況變化等原因造成。此時(shí)，我們一般會(huì)在新風(fēng)空調(diào)箱內(nèi)加“再熱段”來(lái)解決此問(wèn)題。 水量，水壓損失的確定：

W＝Qgf /（cρ（th－tj）） （3）

式中，W為冷水量（m³/s）；

Qgf為干盤(pán)管的顯熱負(fù)荷；

c為水的比熱容，可取4.19kJ/（kg•℃）；

ρ為水的密度，可取1000kg/m³； thw為回水的平均溫度（℃）；

tj為供水溫度（℃）。

其中，tj高于室內(nèi)設(shè)計(jì)點(diǎn)的露點(diǎn)溫度。thw一般以與冷凍機(jī)供回水溫差匹配為原則，通常為5℃或6℃。

水壓損失，此參數(shù)一般可從廠家提供的樣本查詢，在此不做詳細(xì)的說(shuō)明。下圖即是樣本中提供的水壓損失參數(shù)：

 

如此，對(duì)于干盤(pán)管選型最重要的一些參數(shù)，就確定下來(lái)了。

3.2 干盤(pán)管的換熱面積及干盤(pán)管排數(shù)的確定與FFU風(fēng)壓能力的計(jì)算：

FFU在潔凈廠房吊頂上的布置采用滿布的方式，F(xiàn)FU單元的風(fēng)扇噪音指數(shù)疊加將直接影響到潔凈室的環(huán)境要求。我們將綜合好FFU的風(fēng)壓升高引起的噪聲升高和干盤(pán)管的換熱面積及盤(pán)管排數(shù)作為一個(gè)重要指標(biāo)來(lái)考慮。

3.2.1 干盤(pán)管換熱面積：

干盤(pán)管的換熱面積可由潔凈室循環(huán)風(fēng)量根據(jù)面風(fēng)速法來(lái)確定，然而我們這里通常要配合高效送風(fēng)單元FFU的風(fēng)壓來(lái)綜合考慮，干盤(pán)管的風(fēng)壓損失對(duì)整個(gè)系統(tǒng)有著至關(guān)重要的意義。但是此數(shù)據(jù)，目前在國(guó)內(nèi)，尚未標(biāo)準(zhǔn)化。我們解決此問(wèn)題的方法，目前一般還是根據(jù)廠家實(shí)驗(yàn)室的數(shù)據(jù)，來(lái)確定在不同的送風(fēng)速度下，干盤(pán)管的風(fēng)壓損失。根據(jù)廠家的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)以及業(yè)內(nèi)的經(jīng)驗(yàn)，風(fēng)壓損失一般希望控制在15Pa以內(nèi)（綜合盤(pán)管排數(shù)數(shù)據(jù)），對(duì)于系統(tǒng)的設(shè)計(jì)來(lái)說(shuō)非常有利。我們可以根據(jù)實(shí)驗(yàn)室經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù)提供的對(duì)應(yīng)盤(pán)管面積下所取得的風(fēng)速及風(fēng)壓損失來(lái)確定設(shè)計(jì)當(dāng)中適合的盤(pán)管面積。

3.2.2 干盤(pán)管的排數(shù)：

干盤(pán)管排數(shù)的增加可以增大盤(pán)管與回風(fēng)的換熱效率，然而排數(shù)的增加同樣又增加了FFU單元的壓頭負(fù)擔(dān)，這里我們?cè)诒P(pán)管安裝面積允許的情況下優(yōu)先考慮減少排數(shù)的數(shù)量，將排數(shù)控制在一排到兩排較為有利。

可見(jiàn)，寬裕的盤(pán)管安裝面積有利于干盤(pán)管FFU系統(tǒng)的換熱效率及噪聲控制。在潔凈室空調(diào)系統(tǒng)方案確定階段就綜合考慮到和土建工藝專(zhuān)業(yè)的配合非常重要。 4 實(shí)際案例分析：

上海某新建電子廠房建筑面積12341m2，其中生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)潔凈區(qū)域分為ISO06和ISO07兩個(gè)級(jí)別的凈化要求。其中ISO06潔凈區(qū)域范圍為一層生產(chǎn)車(chē)間，凈化面積約為1941 m2。通過(guò)負(fù)荷軟件計(jì)算，除去室內(nèi)新風(fēng)所需承擔(dān)的顯熱冷量，干盤(pán)管所需承擔(dān)的為450KW，然后根據(jù)公式（3），可算出干盤(pán)管水流量75m3/h（其中供回水溫差為5℃）。

一層千級(jí)潔凈區(qū)域室內(nèi)設(shè)計(jì)參數(shù)為：溫度23±1 °C，濕度50±5 %。采用獨(dú)立新風(fēng)機(jī)組MAU+干盤(pán)管DC+末端FFU系統(tǒng)，室內(nèi)回風(fēng)經(jīng)地板及回風(fēng)夾道經(jīng)過(guò)干盤(pán)管降溫處理送入吊頂與新風(fēng)混合后經(jīng)由末端FFU送入室內(nèi)，氣流組織型式為上送下回形式。過(guò)濾器效率為：DOP效率η>99.97（@0.3μm）。房間的循環(huán)風(fēng)量按50次/h計(jì)算。在四層空調(diào)機(jī)房?jī)?nèi)設(shè)置全新風(fēng)空調(diào)MAU。新風(fēng)經(jīng)MAU處理（新風(fēng)，初效過(guò)濾，中效過(guò)濾，降溫除濕/加熱加濕，再熱處理）后，送入吊頂內(nèi)靜壓箱。

由于本案例案例中，送風(fēng)量為保證空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量，新風(fēng)量為補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和。兩者之差，即總回風(fēng)量為562300 m3/h，根據(jù)平面布置情況，選擇干盤(pán)管數(shù)量為47片，單片經(jīng)過(guò)的風(fēng)量為11964 m3/h，按1.5m/s的風(fēng)速確定單片干盤(pán)管面積為2.3m2,單片冷量為9.58kw，進(jìn)水溫度為13°C，大于23°C，50％所對(duì)應(yīng)的等濕線露點(diǎn)溫度，溫差選擇為5°C,單片水量為1.6m3/h。 下圖即為該廠房的原理圖：

 

 

圖如下：干盤(pán)管均勻布置于廠房四周的回風(fēng)吊頂內(nèi)，回風(fēng)經(jīng)回風(fēng)夾道進(jìn)入吊頂回風(fēng)箱之前先經(jīng)過(guò)干盤(pán)管。布置干盤(pán)管一般建議采用垂直于風(fēng)向布置，在風(fēng)道面積不夠的情況下可采用有角度的布置方式。

 

5 干盤(pán)管的控制及常見(jiàn)施工問(wèn)題：

干盤(pán)管通過(guò)水量控制來(lái)實(shí)現(xiàn)室內(nèi)溫度控制，按照區(qū)域?qū)⒌蹴攦?nèi)的干盤(pán)管分成固定的幾組，根據(jù)室內(nèi)溫度傳感器控制的結(jié)果來(lái)控制相對(duì)區(qū)域單組盤(pán)管的閥門(mén)開(kāi)度，從而達(dá)到控制溫度的效果。

按照設(shè)計(jì)理論來(lái)說(shuō)，干盤(pán)管是在干工況下運(yùn)行的，是不會(huì)有冷凝水的，但是一個(gè)凈化房間在剛開(kāi)空調(diào)機(jī)的時(shí)候，干盤(pán)管在進(jìn)入正常干工況之前的那一段時(shí)間內(nèi)是在濕工況下運(yùn)行的，即使凝結(jié)水量很少，筆者還是建議要設(shè)置凝結(jié)水盤(pán)及排水管，保證不滴水漏水，而且如果干盤(pán)管需要清洗或者排空,也有排水設(shè)施可用，所以盡量考慮設(shè)置凝結(jié)水盤(pán)及排水管；

6 干盤(pán)管系統(tǒng)的優(yōu)缺點(diǎn)比較：

空調(diào)機(jī)組（AHU）加風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元（FFU）與新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管（DC）+FFU的區(qū)別在于省略了回風(fēng)管，下面就傳統(tǒng)凈化空調(diào)方式與盤(pán)管+FFU凈化方式的匯總

 

7 結(jié)束語(yǔ)：

干盤(pán)管，雖早已不是什么新興事物，但是其設(shè)備樣本，設(shè)計(jì)計(jì)算等，至今尚未標(biāo)準(zhǔn)化。許多尚需通過(guò)經(jīng)驗(yàn)或廠家實(shí)驗(yàn)來(lái)確定。最近，筆者看到國(guó)內(nèi)的一些廠家，已經(jīng)開(kāi)始提供干盤(pán)管系列的樣本，雖然只有照片，材質(zhì)等信息，但是這一變化，必是其標(biāo)準(zhǔn)化路上的必經(jīng)之路。相信經(jīng)過(guò)設(shè)計(jì)人員、生產(chǎn)廠家等的共同努力，干盤(pán)管的標(biāo)準(zhǔn)化，必會(huì)迎來(lái)其“春天”。

電子電路行業(yè)的飛速發(fā)展，潔凈室的使用將會(huì)越來(lái)越廣泛，而凈化空調(diào)方式的選擇則顯得尤為重要，由于常規(guī)系統(tǒng)（新風(fēng)機(jī)組+混風(fēng)機(jī)組+高效過(guò)濾器）存在著運(yùn)行能耗高、建筑空間要求大、管線交叉多等缺點(diǎn)，我們有理由推薦使用新型凈化空調(diào)方式（新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU），其節(jié)能效果是明顯優(yōu)于常規(guī)系統(tǒng)的，建筑空間要求小，管線也不多，并且綜合造價(jià)和成本與常規(guī)系統(tǒng)相差已經(jīng)不大，相信在不久的將來(lái)會(huì)更低，所以新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU 凈化空調(diào)方式的實(shí)施是具有現(xiàn)實(shí)可行性的。

隨著空調(diào)技術(shù)的發(fā)展，凈化空調(diào)的設(shè)計(jì)方式必然會(huì)更多，只要我們認(rèn)真了解系統(tǒng)，有針對(duì)性地進(jìn)行研究，相信電子廠房?jī)艋�空調(diào)方式的選擇會(huì)不斷更新，并且能夠不斷完善，能夠再進(jìn)一步的降低能源成本。