萬級(jí)凈化車間系統(tǒng)維護(hù)保養(yǎng)管理
如何進(jìn)入萬級(jí)凈化車間？
1、 任何進(jìn)入萬級(jí)凈化車間的人，必須先進(jìn)入無塵更衣室，穿上無塵帽、無塵口罩、無塵衣、靜電防塵手套、無塵褲、無塵靴（如圖①所示）。經(jīng)過這套外形很“酷”的防塵裝備可將人們身上已有的灰塵隔離在萬級(jí)凈化車間之外，但這才是第一步。
2、 接著就要進(jìn)入風(fēng)淋室。所謂風(fēng)淋室是指一條“吹風(fēng)的長(zhǎng)廊”，不過在這條長(zhǎng)廊中吹出來的強(qiáng)風(fēng)是沒有任何靜電存在的離子風(fēng)。這種離子風(fēng)所具有的中和能力可以將人身上的正負(fù)電荷中和，而且依靠靜電黏附在毛發(fā)、衣服上的灰塵也會(huì)自動(dòng)脫落并粘在地板上的藍(lán)色洗塵墊上（如圖②所示）。
3、 走過風(fēng)淋室后，就進(jìn)入萬級(jí)凈化車間了。如果萬級(jí)凈化車間生產(chǎn)的產(chǎn)品要防靜電，則還要經(jīng)過“靜電橋”徹底地消除身上的靜電。若進(jìn)入百級(jí)潔凈室還重復(fù)2、3步驟動(dòng)作。
什么是無塵概念？
按照國(guó)際慣例，無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。
如表1所示，每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
萬級(jí)凈化車間安裝內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外，制程設(shè)備也包括在內(nèi)，本節(jié)將對(duì)該二系統(tǒng)之運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)及保養(yǎng)做一概略說明。
萬級(jí)凈化車間安裝內(nèi)之生產(chǎn)制造設(shè)備注意之重點(diǎn)有三：
1.生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng)：
a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須注意活動(dòng)部分之發(fā)塵。
b.應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。
c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應(yīng)配備過濾裝置。
d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時(shí)，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為原則。
e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備，應(yīng)設(shè)置在萬級(jí)凈化車間安裝外面或回風(fēng)區(qū)，并加裝排氣管線排氣。
f.設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時(shí)，其構(gòu)造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。
g.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃，以避免微塵之堆積。
h.應(yīng)加強(qiáng)注意室內(nèi)的溫濕度控制，避免因濕度之不當(dāng)造成結(jié)露生銹。
i.當(dāng)設(shè)備維修時(shí)易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時(shí)盡量于清潔室外進(jìn)行，并加隔離柵隔離。
j.對(duì)于施工或維修之廠商，應(yīng)告知進(jìn)出萬級(jí)凈化車間安裝之各項(xiàng)規(guī)定，且負(fù)責(zé)工程師應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。
k.應(yīng)有萬級(jí)凈化車間安裝專用工具組，但不得帶出萬級(jí)凈化車間安裝外使用。
l.規(guī)劃空間時(shí)若能臨近萬級(jí)凈化車間安裝設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊(cè)置放室，將是一理想之規(guī)劃。
2.生產(chǎn)設(shè)備之防塵措施：
a.磨損、切削均為發(fā)生微塵之原因，故需將發(fā)塵部分掩蓋之。
b.易產(chǎn)生塵埃之設(shè)備，若能的話應(yīng)布置于風(fēng)尾地點(diǎn)。
c.在操作時(shí)，盡量減少接觸零件或產(chǎn)品。
d.不得有太大或不必要的操作動(dòng)作，以免卷起附近之灰塵。
e.各項(xiàng)廠務(wù)設(shè)施之供應(yīng)如水、氣體和化學(xué)品于進(jìn)入生產(chǎn)設(shè)備前應(yīng)有過濾設(shè)備。
f.為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應(yīng)有旁路閥之設(shè)置。
3.自動(dòng)化與無塵化：
a.設(shè)立自動(dòng)化傳送系統(tǒng)，可減少人員方面所帶來的污染，唯費(fèi)用相當(dāng)昂貴，須詳加評(píng)估。
b.建立管制項(xiàng)目如進(jìn)入萬級(jí)凈化車間安裝人員的資格限定，萬級(jí)凈化車間安裝作業(yè)人員作業(yè)規(guī)則，萬級(jí)凈化車間安裝管理規(guī)則等，這些規(guī)則已在前面章節(jié)敘述，此處不再說明。
在萬級(jí)凈化車間安裝之維護(hù)管理方面，可分三部分加以說明：
1.建筑物之維護(hù)管理：
a.建筑物內(nèi)定期檢查清潔。
b.地板之清掃管理及損壞更新。
c.隔間墻及天花板檢查清潔和封補(bǔ)。
d.窗戶及門之保養(yǎng)等。
2.環(huán)境測(cè)定與管理：
萬級(jí)凈化車間安裝內(nèi)之運(yùn)轉(zhuǎn)環(huán)境狀況如溫、濕度及微塵粒子數(shù)應(yīng)每日定期量測(cè)，以確實(shí)掌握質(zhì)量，若有數(shù)據(jù)異常，可立即做緊急處理。
3.防塵空調(diào)設(shè)備之維護(hù)管理：
a.溫、濕度及塵埃濃度管理，在前面以述及，唯其量測(cè)儀器應(yīng)做定期校正檢驗(yàn)，若有設(shè)備移動(dòng)或施工時(shí)須做局部測(cè)量。
潔凈室內(nèi)禁止吃喝，禁止咀嚼口香糖或糖果。
不能把潔凈服提來提去，人員不能觸摸或翻動(dòng)潔凈服。否則手或者手套污染潔凈服的危險(xiǎn)會(huì)很大。即使搬動(dòng)潔凈服，也會(huì)使服裝內(nèi)收信到的粒子散播到周圍的環(huán)境中。
要避免一切不必要的活動(dòng)。增加身體的活動(dòng)會(huì)增加體表散發(fā)的粒子。人員不必要的活動(dòng)會(huì)使周圍空氣形成渦流。建議以慢動(dòng)作進(jìn)行生產(chǎn)活動(dòng)。
人員衛(wèi)生
高度潔凈環(huán)境中工作人員衛(wèi)生的重要性，是怎么強(qiáng)調(diào)也不為過的�？墒怯嘘P(guān)人員衛(wèi)生的各種規(guī)定與建議，并不是總能被很好的理解，盡管有些是非�；镜囊�(guī)則。與污染擴(kuò)散最直接相關(guān)的是材料和部件的搬運(yùn)等，因此，必須經(jīng)常洗手。特別是咳嗽、打噴嚏、上廁所、吸煙（包括使用鼻煙）之后，以及休息后返回工作之前，都要洗手。手在接觸受污染的材料和動(dòng)物后，也應(yīng)當(dāng)徹底清洗。根據(jù)具體的潔凈要求，在有些情況下，使用電話和計(jì)算機(jī)后也要洗手。這都是好的做法。
對(duì)藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范相關(guān)人員的衛(wèi)生要求，可總結(jié)如下：
每一個(gè)人員應(yīng)對(duì)自己個(gè)人的清潔衛(wèi)生負(fù)責(zé)。
b.過濾網(wǎng)之管理：定期檢查及更換，表6為各種過濾網(wǎng)之檢查及更換周期。
c.空氣調(diào)節(jié)器管理：定期檢查隔板接縫及內(nèi)部污染狀況，冷熱盤管是否有腐蝕現(xiàn)象。
d.送風(fēng)機(jī)之管理：定期檢查送風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)狀況。如表7所示為送風(fēng)機(jī)之各項(xiàng)檢查內(nèi)容及周期。
e.風(fēng)管及出風(fēng)口之管理：檢查風(fēng)管是否有腐蝕、污染、塵埃堆積或保溫脫落等。
f.測(cè)試及量測(cè)儀器管理：定期校正及保養(yǎng)。
g.室內(nèi)壓力管理：連續(xù)監(jiān)視室內(nèi)壓力記錄，以維持正壓為基準(zhǔn)。
h.冷凍主機(jī)、泵浦、鍋爐及冷卻水塔之管理：定期檢查保養(yǎng)及記錄運(yùn)轉(zhuǎn)狀況及水質(zhì)變化分析，以調(diào)整加藥量等。
i.萬級(jí)凈化車間安裝停止運(yùn)轉(zhuǎn)再開機(jī)要點(diǎn)管理：?jiǎn)?dòng)后立即進(jìn)行微塵粒子之測(cè)試，須萬級(jí)凈化車間安裝恢復(fù)穩(wěn)定正常時(shí)再開始作業(yè)。
萬級(jí)凈化車間安裝內(nèi)用品的管理
萬級(jí)凈化車間安裝內(nèi)用品除了進(jìn)出萬級(jí)凈化車間安裝用的潔凈衣、鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具、桌子、椅子、芯片盒、搬運(yùn)車、筆記本、告示板及垃圾箱、吸塵器等。
潔凈衣之材料以洗后或使用其它處理后仍不會(huì)發(fā)塵者為基本條件，且其布料為不易燃燒、不起毛，其織法或布料之組織不易通過污染物和不附著污染物之材質(zhì)，另外經(jīng)過磨擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常小，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質(zhì)為無塵紙或無紡布制成，帽子材質(zhì)則與潔凈衣相同，二者在穿戴使用時(shí)，除了只露出眼睛和臉表面部分外，其它部分均需包覆，在頭部部分連接上衣處也必須全蓋住，不能留有空隙，頭發(fā)亦不能露出來。萬級(jí)凈化車間安裝用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件，容易洗滌，底則采用塑料底，布質(zhì)部分則采用與潔凈服相同材質(zhì)即可，鞋子穿著時(shí)潔凈衣腳跟部分應(yīng)完全塞入緊密包著。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂（Viny1），在使用過程中若有不舒適感或妨礙手指觸感者則停止使用，手套表面有粉質(zhì)時(shí)須去除或停用，原則上不使用有粉之Viny1手套為佳。
潔凈衣鞋帽子等須由專人管理，并定期做清洗，清洗須在萬級(jí)凈化車間安裝內(nèi)進(jìn)行。并以純水配合清潔溶劑，并經(jīng)約0.2μm之過濾器為之。一般洗滌周期視潔凈度等級(jí)而定，在高潔凈區(qū)（CLASS1）為2~3天，其它區(qū)域則為五天至一星期，洗滌完畢干燥后應(yīng)立即密封。潔凈衣之置放場(chǎng)所亦須為萬級(jí)凈化車間安裝，備用品或新品存放柜內(nèi)，正使用者則吊掛衣架上，以方便取用。
桌椅一般以不銹鋼材質(zhì)，并需表面加工處理為之，若不得不使用鍍鋅品或木制品，其表面須施環(huán)氧樹脂（Epxoy）加工以防表面發(fā)塵。工作桌最好有打洞，邊緣有倒角。以利氣流之運(yùn)動(dòng)。椅子盡量采用沒有背及腳踏板者，椅腳高度以坐下來腳可以觸到地板者為原則。但若一定須使用高腳椅時(shí)，則要準(zhǔn)備腳踏環(huán)。桌及椅子之腳最好安裝上塑料小輪子或套上橡膠套。
芯片盒為放置芯片之用，材質(zhì)以選取擇不易摩損、不發(fā)塵易清潔之材質(zhì)如鐵弗（Teflon）等，至于搬運(yùn)車則以構(gòu)造簡(jiǎn)單為原則，并忌使用折迭式，材質(zhì)仍采用不銹鋼為宜，車輪為耐磨性高之橡膠輪胎，車輪軸承采用雙密封式滾珠軸承。推送搬運(yùn)車時(shí)不得急速運(yùn)推而以緩行為適。筆記本之紙質(zhì)應(yīng)采用無塵紙制成者，且不得使用影印數(shù)據(jù)，若非萬不得已須使用，則須將文件放在透明之塑料套內(nèi)或加覆背，同時(shí)不可于室內(nèi)撕破或?qū)⒓埲喑梢粓F(tuán)，避免造成環(huán)境之污染。如表5所示為不同紙張材質(zhì)發(fā)塵量之比較。普通黑板及粉筆當(dāng)然不能在高萬級(jí)凈化車間安裝內(nèi)使用，必要時(shí)可在更衣室等萬級(jí)凈化車間安裝較低等級(jí)的區(qū)域使用白板。萬級(jí)凈化車間安裝內(nèi)不得放置清潔用具，垃圾桶宜使用塑料制品或不銹鋼，且置于維修區(qū)中的固定位置，桶須覆以蓋子，以利管制，并定期清理。
真空吸塵器，其功能是在吸取萬級(jí)凈化車間安裝內(nèi)地板上、下及設(shè)備上附著之塵�；蛞后w以防止這些塵粒之再飛揚(yáng)，以達(dá)到清潔的目的，由于真空吸塵器在作業(yè)時(shí)會(huì)有排氣產(chǎn)生，若未經(jīng)處理，將嚴(yán)重影響萬級(jí)凈化車間安裝之潔凈度和氣流，因而真空吸塵器在排氣口均裝有HEPA過濾器，以除去塵埃。唯現(xiàn)今之高級(jí)萬級(jí)凈化車間安裝均設(shè)有中央式吸塵系統(tǒng)，并于現(xiàn)場(chǎng)預(yù)留吸塵口，故一般之清潔過程均利用此中央系統(tǒng)，以減少使用真空吸塵器時(shí)的氣流干擾,在使用中央式系統(tǒng)時(shí)，須注意排氣旦之控制避免使萬級(jí)凈化車間安裝內(nèi)之壓力降低至規(guī)定范圍以下。至于真空吸塵器因?qū)偃f級(jí)凈化車間安裝內(nèi)專用，故不可移至室外使用，若不用時(shí)應(yīng)置于較低等級(jí)的萬級(jí)凈化車間安裝中，旦每次使用后應(yīng)清掃吸管、收塵箱等吸氣系統(tǒng)。