粒子計(jì)數(shù)器可以用于測(cè)量潔凈環(huán)境單位體積空氣內(nèi)定的塵埃粒子大小及數(shù)目，它是顯微鏡發(fā)展而來(lái)，經(jīng)歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計(jì)數(shù)器、激光空氣粒子計(jì)數(shù)器、PCS納米激光空氣粒子計(jì)數(shù)器的過(guò)程，

　　粒子計(jì)數(shù)可采用激光粒子計(jì)數(shù)器或凝聚核粒子計(jì)數(shù)器。粒子計(jì)數(shù)器，可分析氣體中011μm粒徑的顆粒雜質(zhì);可分析0105μm粒徑顆粒雜質(zhì)，目前已有可檢測(cè)超高純氣中01005μm的粒子計(jì)數(shù)器。粒計(jì)數(shù)器是一種利用光的散射原理進(jìn)行塵粒計(jì)數(shù)的儀器。一定流量的含塵氣體通過(guò)一束強(qiáng)光，使粒子發(fā)射出散射光，經(jīng)過(guò)聚光透鏡投射到光電倍增管上，將光脈沖變?yōu)殡娒}沖，由脈沖數(shù)求得顆粒數(shù)。根據(jù)粒子散射光的強(qiáng)度與粒徑的函數(shù)關(guān)系得出粒子直徑。粒子計(jì)數(shù)器是高純或超高純供氣系統(tǒng)中必不可缺的儀器。價(jià)格較昂貴。

　　塵埃粒子計(jì)數(shù)器的注意事項(xiàng)：

   　1、沒(méi)有高壓減壓設(shè)備(如高壓擴(kuò)散器)不要取樣壓縮空氣，所有的粒子計(jì)數(shù)器被設(shè)計(jì)用于在一個(gè)大氣壓下操作。

　　2、當(dāng)入口管被蓋住或被堵塞，不要啟動(dòng)計(jì)數(shù)儀

　　3、不要測(cè)有可能產(chǎn)生反應(yīng)的混合氣體(如氫氣和氧氣)。這此氣體也可能在計(jì)數(shù)器內(nèi)產(chǎn)生爆炸。測(cè)這些氣體需與廠家聯(lián)系為取得更多的信息。